模具及其制造方法

　　本发明涉及模具和模具的制造方法。在此所说的“模具”包含各种加工方法(冲压、铸造)所用的模具，有时也称为压模。另外，还可以用于印刷(包括纳米印刷)。

　　在电视机、手机等所用的显示装置、照相机透镜等光学元件中，为了减少表面反射来提高光的透射量，通常使用防反射技术。这是因为，例如，如光射入空气和玻璃的界面的情况那样，在光通过折射率不同的介质的界面的情况下，因为菲涅耳反射等，光的透射量减少，视认性降低。近年来，作为防反射技术，在基板表面形成凹凸的周期被控制在小于等于可见光的波长(λ = 380nm 780nm)的微细的凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1至4)。 构成实现防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小是大于等于IOnm小于500nm。该方法利用了所谓的蛾眼(Motheye ；蛾子的眼睛)结构的原理，使相对于射入基板的光的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率到基板的折射率为止连续地发生变化，由此抑制希望防止反射的波段的反射。蛾眼结构具有除了在宽广的波段内可以发挥入射角依赖性较小的防反射作用以外，还可以应用于很多的材料、能将凹凸图案直接形成于基板等优点。其结果是能以低成本提供高性能的防反射膜(或者防反射表面)。作为蛾眼结构的制造方法，使用对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2至4)。在此，简单地说明对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层。以往，利用了阳极氧化的多孔质结构体的制造方法作为可以形成有规律地排列的纳米级圆柱状细孔 (微细的凹部)的简单方法而受到关注。当将铝基材浸渍到硫酸、草酸或者磷酸等酸性电解液或者碱性电解液中，将其作为阳极施加电压时，可以在铝基材的表面同时进行氧化和溶解，形成在其表面具有细孔的氧化膜。该圆柱状细孔相对于氧化膜垂直地进行取向且在一定的条件下(电压、电解液的种类、温度等)示出自我组织的规则性，因此，期望应用于各种功能材料。在特定条件下形成的多孔氧化铝层，当从垂直于膜面的方向看时，为大致正六边形的单元以二维最高密度进行填充的排列。各个单元在其中央具有细孔，细孔的排列具有周期性。单元是局部的皮膜的溶解和成长的结果所形成的，在被称为阻挡层的细孔底部，皮膜的溶解和成长同时进行。已知此时单元的大小，即相邻的细孔的间隔(中心之间距离) 相当于阻挡层的厚度的大致2倍，与阳极氧化时的电压大致成比例。另外，已知细孔的直径依赖于电解液的种类、浓度、温度等，但是，通常是单元的大小(从垂直于膜面的方向看时的单元的最长对角线左右。这种多孔氧化铝的细孔在特定条件下，形成具有高规则性(具有周期性)的排列，或者根据条件形成某种程度规则性的紊乱的排列，或者形成不规则(不具有周期性)的排列。

　　专利文献2公开了如下方法使用在表面具有阳极氧化多孔氧化铝膜的压模来形成防反射膜(防反射表面)。另外，在专利文献3中公开了如下技术通过反复进行铝的阳极氧化和孔径扩大处理来形成细孔孔径连续地变化的锥形形状的凹部。本申请人在专利文献4中公开了如下技术使用微细的凹部具有阶梯状的侧面的氧化铝层来形成防反射膜。另外，如专利文献1、2以及4所述，除了蛾眼结构(微观结构)以外，还设置大于蛾眼结构的凹凸结构(宏观结构)，由此可以对防反射膜(防反射表面)赋予防眩功能。构成发挥防眩功能的凹凸的凸部的二维大小是大于等于Iym小于100 μ m。为了参考，将专利文献1、2以及4的所有的公开内容在本说明书中加以引用。这样利用阳极氧化多孔氧化铝膜，可以容易地制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(下面，称为“蛾眼用模具”。)。特别是如专利文献2和4所述，当将铝的阳极氧化膜的表面原样作为模具来使用时，降造成本的效果较大。将可以形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面的结构称为“反转的蛾眼结构”。在专利文献5中记载了如下所示的、透镜片制造所使用的辊状树脂模具的制造方法。首先，将具有与透镜相反的形状的金属切削金属模按压到被施加了硅酮树脂的膜状基材，制作具有透镜形状的膜状模具(第1次转印)。接着，一边将膜状模具卷在铁芯滚筒上一边在膜状模具与铁芯滚筒之间施加热固化性树脂，使树脂热固化。之后，剥离膜状模具， 得到形成有与透镜相反的形状的辊状树脂模具(第2次转印)。使用利用专利文献2和4记载的多孔氧化铝膜形成的蛾眼用模具、用专利文献5 记载的制造方法制作辊状蛾眼用模具时，需要至少进行2次转印工序。因此制造工序变得复杂。另外，蛾眼用模具的凹凸结构比专利文献5记载的透镜片表面的凹凸结构微细，所以当进行2次转印时，有可能凹凸结构不被忠实地转印。现有技术文献专利文献专利文献1 特表号公报专利文献2 特表号公报专利文献3 特开号公报 专利文献4 国际公开第2006/059686号专利文献5 特开2000-3；34745号公报

　　发明要解决的问题因此，本发明人对能变形为辊状的柔性蛾眼用模具的制造进行了探讨研究。尝试了使用形成于可挠性高分子膜的表面的铝层来制造蛾眼用模具，结果是引起不能充分得到铝层和高分子膜的粘接性的问题。本发明是为了解决上述问题而完成的，其主要目的在于提供能简单地制造柔性蛾眼用模具的方法。用于解决问题的方案

　　本发明的柔性模具具有具有可挠性的高分子膜；固化性树脂层，其形成于上述高分子膜的表面；以及多孔氧化铝层，其形成于上述固化性树脂层上，在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线维大小大于等于IOnm小于 500nm的多个凹部。在某实施方式中，上述固化性树脂层包含丙烯酸系树脂。在某实施方式中，在上述固化性树脂层与上述多孔氧化铝层之间形成有无机基底层。在某实施方式中，上述无机基底层包含Si02。在某实施方式中，上述无机基底层的厚度大于等于50nm小于等于300nm。在某实施方式中，在上述无机基底层与上述多孔氧化铝层之间形成有含有铝的缓冲层。在某实施方式中，上述固化性树脂层包含硅石。在某实施方式中，上述固化性树脂层的表面具有2维大小大于等于Ιμπι小于 100 μ m的凸部。在某实施方式中，在上述固化性树脂层的表面形成有周期性的凹凸结构。本发明的辊状模具具备具有上述构成的柔性模具和辊状基材，上述柔性模具固定于上述辊状基材的外周面上。在某实施方式中，上述柔性模具以在一端与另一端之间空出间隙的方式配置。本发明的防反射结构的形成方法包含如下工序准备上述辊状模具和偏光板；以及以上述偏光板的偏光轴与上述辊状模具的周向平行的方式使上述偏光板相对于辊状模具相对移动，在上述偏光板上形成上述蛾眼结构。在某实施方式中，上述偏光板为长方形，上述辊状模具的周长比上述偏光板的长边长。在本发明的柔性模具的制造方法中，上述柔性模具在表面具有反转的蛾眼结构， 上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线维大小大于等于IOnm小于500nm 的多个凹部，上述柔性模具的制造方法包含如下工序(a)准备模具基材，上述模具基材具有具有可挠性的高分子膜；固化性树脂层，其形成于上述高分子膜的表面；以及铝层，其形成于上述固化性树脂层上；(b)对上述铝层局部地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；(c)在上述工序(b)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大；以及(d)在上述工序(c)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细凹部成长。在某实施方式中，在上述工序(d)之后，进一步进行上述工序(C)和(d)。本发明的辊状模具的制造方法包含如下工序(e)准备辊状基材和具有上述构成的柔性模具；以及(f)在上述工序(e)之后，在上述辊状基材的外周面上固定上述柔性模具。在某实施方式中，上述高分子膜在端部被实施滚花处理。发明效果根据本发明，提供了一种能简单地制造柔性蛾眼用模具的方法。

　　图1 (a) (e)是用于说明本发明的实施方式的模具的制造方法的示意性截面图。图2(a)是本发明的实施方式的模具的制造方法所使用的模具基材10的示意性截面图，(b)是使用模具基材10制造的蛾眼用模具100的示意性截面图。图3(a)是本发明的实施方式的模具的制造方法所使用的模具基材IOa的示意性截面图，(b)是使用模具基材IOa制造的蛾眼用模具IOOa的示意性截面图。图4(a)是本发明的实施方式的模具的制造方法所使用的模具基材IOb的示意性截面图，(b)是使用模具基材IOb制造的蛾眼用模具IOOb的示意性截面图。图5(a) (c)是用于说明本发明的实施方式的模具IOOc的制造方法的示意性截面图。图6是比较例1的模具基材30A的示意性截面图。图7是示出实施例1的模具基材10的多孔氧化铝层表面的SEM像的图。图8是比较例2的模具基材30B的示意性截面图。图9(a)和(b)是示出实施例2的模具基材IOb的铝层表面的SEM像的图，(a)是铝层的刚成膜之后的SEM像，(b)示出在磷酸水溶液中浸渍后的SEM像。图10 (a)和(b)是示出比较例2的模具基材30B的铝层表面的SEM像的图，(a)是铝层的刚成膜之后的SEM像，(b)示出在磷酸水溶液中浸渍后的SEM像。图11 (a) (c)是用于说明辊状模具200的制造方法的示意性截面图。图12(a) (h)是用于说明柔性模具100和使用了柔性模具100的辊状模具200 的制造方法的示意性截面图。图13(a)和(b)是用于说明在偏光板70上形成防反射结构的方法的示意性立体图。图14是本发明的实施方式的模具IOOd的示意性截面图。图15(a) (c)是用于对用于制造本发明的实施方式的模具IOOd的模具基材IOd 的制造方法进行说明的示意性截面图。图16是膜状基材IOe’的示意性截面图。图17(a)和(b)是用于说明辊状模具的接头的构成的示意性截面图。图18是膜基材70f的示意性截面图。

　　本发明的实施方式的蛾眼用模具及其制造方法。此外，本发明不限定于例示的实施方式。首先，如图1(a)所示，准备表面具备铝层(Al层)的模具基材。在图1(a) (e) 中，为了简单起见，仅图示出Al层18。Al层18是使用例如大于等于99. 99质量％的纯度的铝靶用溅射法形成的。Al层18的厚度为例如1000nm(l μ m)。为了得到具有成为蛾眼用模具的表面结构的阳极氧化氧化铝层，优选Al层18的厚度大于等于lOOnm，从生产率的观点出发优选小于等于3000nm。本发明的实施方式的模具的制造方法的特征在于使用图2(a)所示的模具基材10 这点。如图2(a)所示，模具基材10具有可挠性的高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14、以及形成于固化性树脂层14上的铝层18。关于模具基材10将在后面详细描述。接着，如图1(b)所示，在规定的条件下对Al层18局部地(表面部分)进行阳极氧化，形成具有细孔22的多孔氧化铝层20。能根据阳极氧化的条件(例如化成电压、电解液的种类、浓度、以及阳极氧化时间等)控制细孔22的大小、细孔22的生成密度、细孔22的深度等。另外，通过控制化成电压的大小，能控制细孔22的排列的规则性。例如，使用0. IM 的草酸水溶液在20°C以40秒施加80V电压，由此得到相邻的细孔间的距离为190nm、厚度为大约IOOnm的多孔氧化铝层20。此外，也可以根据需要除去最初形成的多孔氧化铝层20。这是因为最初形成的多孔氧化铝层20因杂质等的影响有时含有较多缺陷。对于最初形成并除去的多孔氧化铝层20的厚度，从再现性的观点出发优选大于等于200nm，从生产率的观点出发优选小于等于2000nm。当然，也可以根据需要将最初形成的多孔氧化铝层20局部地(例如从表面开始直到某深度)除去。多孔氧化铝层20的除去能用如下等公知的方法进行例如，使其在磷酸水溶液、铬酸磷酸混合液(Chromium phosphate mixture)中浸渍规定时间而除去。接着，如图1(c)所示，通过使具有细孔22的多孔氧化铝层20与氧化铝的蚀刻剂接触而蚀刻规定量，由此扩大细孔22的孔径。在此采用湿式蚀刻，由此能大致各向同性地扩大细孔壁和阻挡层。调整蚀刻液的种类、浓度、以及蚀刻时间，由此能控制蚀刻量(即，细孔22的大小和深度)。作为蚀刻液，能使用例如10质量％的磷酸、甲酸、乙酸、柠檬酸等有机酸的水溶液、铬酸磷酸混合水溶液。之后，如图1(d)所示，再次对Al层18局部地进行阳极氧化，由此使细孔22在深度方向成长，并且使多孔氧化铝层20加厚。在此，因为细孔22的成长从已经形成的细孔22 的底部开始，所以细孔22的侧面成为阶梯状。而且，之后根据需要，如图1(e)所示，使多孔氧化铝层20与氧化铝的蚀刻剂接触而进一步蚀刻，由此进一步扩大细孔22的孔径。作为蚀刻液，在此也优选使用上述的蚀刻液，实际上只要使用相同的蚀刻浴即可。这样，交替地重复上述的阳极氧化工序(图1(b))和蚀刻工序(图1(c))，由此得到具备细孔(微细凹部)22的多孔氧化铝层20，该细孔22具有期望的凹凸形状。适当设定阳极氧化工序和蚀刻工序各个工序的条件，由此能在控制细孔22的大小、生成密度、细孔的深度的同时控制细孔22的侧面的阶梯形状。此外，为了减小细孔22的底部，优选在阳极氧化工序中结束(不进行之后的蚀刻工序)。因为能减小使用所得到的具有多孔氧化铝层20的蛾眼用模具(后述的蛾眼用模具100(图2(b))形成的蛾眼结构的凸部顶端，所以能提高防反射效果。作为蛾眼结构，优选具有从表面的法线方向观看时的二维大小大于等于IOnm小于500nm的多个凸部，优选相互相邻的凸部间的距离大于等于30nm小于600nm。在此，对交替地进行阳极氧化工序和蚀刻工序的例子进行了说明，但也可以在阳极氧化工序与蚀刻工序之间、或者在蚀刻工序与阳极氧化工序之间进行清洗工序、之后的干燥工序。另外，也可以在各阳极氧化工序之间变更化成电压等条件。本发明的实施方式的模具的制造方法所使用的模具基材利用如下所示的构成，能使铝层18的粘接性提高。此外，在此，高分子膜和铝层的粘接性不但表示在高分子膜的表面直接形成铝层的情况下的铝层的剥离难度，也表示在高分子膜的表面与铝层之间夹着其它层的情况下的铝层的剥离难度。参照图2，对本发明的实施方式的模具的制造方法所使用的模具基材和所得到的蛾眼用模具进行说明。图2(a)是模具基材10的示意性截面图。图 2(b)是使用模具基材10制造的蛾眼用模具100的示意性截面图。图2 (a)所示的模具基材10具有高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14、以及形成于固化性树脂层14上的铝层18。此外，为了对铝层18均勻地进行阳极氧化，也可以在基底设置导电层(优选阀金属层)。作为具有可挠性的高分子膜12，例如能使用COP (环烯烃聚合物)膜、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)膜、TAC(三醋酸纤维素)膜或PET (聚对苯二甲酸乙二酯)膜。作为固化性树脂层14的材料，能适当使用被用作偏光板的硬涂层材料的材料。例如，能使用热固化性树脂或光固化性树脂。从生产率的观点出发，优选光固化性树脂(例如，紫外线固化树脂)。另外，从粘接性的观点出发，优选紫外线固化树脂包含丙烯酸系树脂。如后面示出实施例1和比较例1说明的那样，固化性树脂层14以提高高分子膜12与铝层18之间的粘接性的方式发挥作用。铝层18用公知的方法(例如电子束蒸镀法或溅射法)形成。在此，厚度为大约 Iym的铝层18分多次沉积比一次沉积优选。即，与连续地沉积到期望的厚度(例如Iym) 相比，优选如下情况在沉积到某厚度的阶段中断，在经过某时间后再次开始沉积，重复进行上述的工序，得到期望厚度的铝层18。例如，优选如下情况每当沉积厚度为50nm的铝层时就中断，用各个厚度为50nm的20层铝层得到厚度为大约1 μ m的铝层18。这样，将铝的沉积分为多次，由此能使最终得到的铝层18的质量(例如，耐药性、粘接性)提高。可以认为这是因为当连续地沉积铝时，基材(指具有沉积了铝层的表面的基材)的温度上升， 其结果是，在铝层18内产生热应力的分布，使膜的质量降低。使用图2(a)所示的模具基材10，用参照图1(a) (e)说明的方法形成多孔氧化铝层20，由此得到图2(b)所示的蛾眼用模具100。蛾眼用模具100具有具有可挠性的高分子膜12 ；固化性树脂层14，其形成于高分子膜12的表面；铝层18a，其形成于固化性树脂层14上；以及多孔氧化铝层20，其形成于铝层18a的表面。此外，当模具基材10的铝层18 全部被阳极氧化时，得到不存在铝层18a的蛾眼用模具。参照图1 (a) (e)说明的制造方法是对形成于高分子膜12上的铝层18进行阳极氧化来制作模具，所以不经过对多孔氧化铝膜的凹凸结构进行转印的工序。因此，能简单地制作柔性蛾眼用模具100 (下面也称为“柔性模具100”。)。接着，参照图3说明其它实施方式的模具基材IOa和柔性模具100a。如图3(a)所示，模具基材IOa具有高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14、设于固化性树脂层14上的无机基底层16、以及形成于无机基底层16上的铝层18。此外，为了对铝层18均勻地进行阳极氧化，优选在基底设置导电层(优选阀金属层)的情况下在无机基底层16与铝层18之间设置导电层。无机基底层16以提高固化性树脂层14和铝层18的粘接性的方式发挥作用。从粘接性的观点出发，优选无机基底层16用无机氧化物或无机氮化物形成。在使用无机氧化物的情况下优选例如氧化硅层或氧化钛层，在使用无机氮化物的情况下优选例如氮化硅层。另外，可以认为无机基底层16也具有抑制从高分子膜12产生排气的效果。使用图3(a)所示的模具基材10a，用参照图1(a) (e)说明的方法形成多孔氧化铝层20，由此得到图3(b)所示的柔性模具100a。柔性模具IOOa具有高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14、形成于固化性树脂层14上的无机基底层16、形成于无机基底层16的表面的铝层18a、以及形成于铝层18a的表面的多孔氧化铝层20。接着，参照图4说明其它实施方式的模具基材IOb和柔性模具100b。模具基材IOb在无机基底层16上进一步形成有缓冲层17这点与模具基材IOa (与图3(a))不同(图4(a))。如图4(a)所示，模具基材IOb具有高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14、形成于固化性树脂层14上的无机基底层16、形成于无机基底层16上的含有铝的缓冲层17、以及形成于缓冲层17的表面的铝层18。此外，为了对铝层18均勻地进行阳极氧化，优选在基底设置导电层(优选阀金属层)的情况下在无机基底层16与缓冲层17之间、或者在缓冲层17与铝层18之间设置导电层。缓冲层17以提高无机基底层16和铝层18的粘接性的方式发挥作用。另外，缓冲层17由耐酸性优良的材料形成，针对酸保护无机基底层16。优选缓冲层17包含铝和氧或氮。氧或氮的含有率可以为固定的，但尤其优选铝的含有率具有在铝层18侧比无机基底层16侧高的分布。这是因为热膨胀系数等物性值的调整优良。优选缓冲层17的厚度大于等于40nm，更优选大于等于lOOnm。另外，优选缓冲层 17的厚度小于等于500nm，更优选小于等于200nm。当缓冲层17的厚度小于40nm时，难以针对从铝层18侧渗入的处理液(阳极氧化工序中的电解液和/或蚀刻工序中的蚀刻液) 充分保护无机基底层16，有时设置缓冲层17的效果不能充分发挥。另外，当缓冲层17的厚度超过500nm时，因为缓冲层17的形成时间不必要地变长，所以不优选。缓冲层17内的铝的含有率在厚度方向上的分布可以阶段性地变化，也可以连续地变化。例如，在用铝和氧形成缓冲层17的情况下，形成氧含有率逐渐降低的多个氧化铝层，在最上层上形成铝层18。形成含有铝和氮的缓冲层17的情况也是同样。无机基底层16能使用与上述模具基材IOa (图3(a))的无机基底层16相同的材料形成。当用无机氧化物或无机氮化物形成无机基底层16时，优选通过在无机氧化物或无机氮化物中添加杂质来使无机基底层16的热膨胀系数与相邻的固化性树脂层14、缓冲层17的热膨胀系数匹配。例如在使用氧化硅层的情况下，能通过添加锗(Ge)、磷(P)或硼 (B)使热膨胀系数增大。当在氧化硅中添加例如5质量％的Ge时，热膨胀系数成为大约 2. 8X 10_6/°C，增大到不添加Ge的情况下的大约3倍。如上所述，无机基底层16能用溅射法制作。例如能用DC反应溅射法、RF溅射法制作。从粘接性的观点出发，用RF溅射法制作比DC反应溅射法优选。可以认为，当用RF溅射法成膜时，在基底的固化性树脂层14和无机基底层16的界面形成有混合区，该混合区混合有被用作固化性树脂层14的材料的树脂和SiO2,所以能提高粘接性。优选无机基底层16的厚度小于等于500nm，更优选小于等于300nm。当无机基底层16的厚度大时，无机基底层16的形成时间不必要地变长。另外，当无机基底层16的厚度大时，有时在使模具基材弯曲时无机基底层16会发生破裂。另外，当无机基底层16的厚度超过500nm时，由于因无机基底层16与铝层18之间的热膨胀系数不同所引起的热应力 (剪切应力)，有时铝层18的粘接性下降。从铝层18的粘接性的观点出发，优选无机基底层16的厚度大于等于50nm。可以认为，当用溅射法成膜时，当在膜内产生一定量以上的针孔时粘接性会下降，所以优选针孔少些。从抑制针孔产生的观点出发，优选无机基底层16的厚度大于等于70nm。例如，利用 RF 溅射法形成 15nm、30nm、50nm、70nm、100nm、150nm、以及 300nm 的 7 种 SiO2 层的结果是， 在50nm以上，粘接性没有问题，在厚度为70nm以上，能抑制针孔的产生。使用图4(a)所示的模具基材10b，用参照图1 (a) (e)说明的方法形成多孔氧化铝层20，由此得到图4(b)所示的柔性模具100b。柔性模具IOOb具有高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14、形成于固化性树脂层14上的无机基底层16、形成于无机基底层16上的缓冲层17、形成于缓冲层17的表面的铝层18a、以及形成于铝层18a 的表面的多孔氧化铝层20。接着，参照图5说明其它实施方式的模具基材IOc和柔性模具100c。模具基材IOc 和柔性模具IOOc形成有能发挥防眩功能的凹凸结构(专利文献1、2和4)。下面，参照图5(a) (c)说明蛾眼用模具IOOc的制造方法。如图5(a)所示，准备高分子膜12和在高分子膜12上形成了固化性树脂层Hc的膜状基材10c’。如图5(a)所示，固化性树脂层14c的表面具有发挥防眩功能的凹凸结构。 固化性树脂层14c的表面具有2维大小大于等于1 μ m小于100 μ m的凸部。膜状基材10c’ 是例如在由PET形成的高分子膜12上施加包含固化性树脂和微粒在内的固化性树脂组合物并使其固化而得到的。固化性树脂能使用包含在上述的模具基材10的固化性树脂层14 中所使用的热固化性树脂、光固化性树脂的材料。例如能使用丙烯酸系树脂。另外，作为微粒，例如能使用平均粒径大于等于1 μ m小于等于20 μ m的硅石粒子。接下来，如图5(b)所示，在膜状基材10c’的固化性树脂层Hc上形成无机基底层 16，在无机基底层16上形成缓冲层17，然后在缓冲层17的表面沉积铝形成铝层18，由此得到模具基材10c。在铝层18的表面上形成固化性树脂层14c的表面的凹凸结构。接下来，使用模具基材10c，利用与参照图1(a) (e)说明的方法同样的方法重复阳极氧化和蚀刻，由此如图5(c)所示，得到形成了多孔氧化铝层20的柔性蛾眼用模具 100c，该多孔氧化铝层20具有发挥防眩功能的凹凸结构。柔性模具IOOc能作为用于形成在发挥防眩功能的凹凸结构上重叠了蛾眼结构的防反射膜的模具使用。此外，无机基底层 16和缓冲层17也可以省略。下面，示出实施例和比较例，更详细地说明本发明的实施方式的蛾眼用模具及其制造方法。(实施例1、比较例1)实施例1的模具基材是用于制作清白型的蛾眼用模具的模具基材，具有图2(a)所示的模具基材10的构成。在此，所谓清白型的蛾眼用模具是指未设置发挥防眩功能的凹凸结构的蛾眼用模具。按照下面制作实施例1的模具基材。准备了 PET膜(ΚΙΜ0Τ0制，厚度为188 μ m)作为高分子膜12。在高分子膜12上直接形成了厚度为20 μ m的固化性树脂层(丙烯酸系树脂层)14 和厚度为Iym的铝层18。铝层18用电子束蒸镀法形成。如图6所示，在上述实施例1的模具基材10的制作方法中不形成固化性树脂层， 而是在高分子膜32的表面形成铝层38，由此制作了比较例1的模具基材30A。使用实施例1的模具基材10，进行参照图1 (a) (e)说明的制造工序(阳极氧化条件为，处理液草酸(0. 3wt% )，温度5°C，电压80V，处理时间lmin，蚀刻条件为，磷酸(lmol/L (升))，处理温度30°C，处理时间25min)。交替地进行5次(阳极氧化为5次，蚀刻为4次)阳极氧化工序和蚀刻工序。在图7中示出进行了阳极氧化工序和蚀刻工序后的实施例1的模具基材10表面的SEM像。如图7所示，当使用实施例1的模具基材10时，能形成具有反转的蛾眼结构的

　　多孔氧化铝层。另一方面，对比较例1的模具基材30A也在与上述同样的条件下交替地重复阳极氧化工序和蚀刻工序，结果是在第3次蚀刻时铝层38全部在蚀刻液中剥离。因此，比较例1 的模具基材30A不能形成具有反转的蛾眼结构的多孔氧化铝层。可以认为，比较例1的模具基材30A因为不具有固化性树脂层，所以铝层38的粘接性低，由此导致铝层38剥离。(实施例2、比较例2)实施例2的模具基材与实施例1的模具基材同样，是用于制作清白型(ClearType) 的蛾眼用模具的模具基材，具有图4(a)所示的模具基材IOb的构成。按照如下方式制作实施例2的模具基材。准备了 ImX 1.6m的PET膜(ΚΙΜ0Τ0制，厚度为180 μ m)作为高分子膜12。在高分子膜12上直接形成了厚度为20μπι的固化性树脂层(丙烯酸系树脂层)14、厚度为60 70nm的无机基底层(SiO2层)16、厚度为40nm的缓冲层(包含铝和氧)17、以及厚度为1 μ m的铝层18。这些层全部用溅射法形成。使用如下溅射条件背景的线Pa)，氛围气体:Ar，溅射时的线Pa)， Al靶的纯度99. 999质量％。在此，形成了具有氧含有率不同的多个氧化铝层的缓冲层作为缓冲层17。以多个氧化铝层的氧含有率具有越是靠近SiO2层16的层越高的分布的方式，换言之，以铝的含有率具有在铝层18侧比SiO2层16侧高的分布的方式形成多个氧化铝层。此外，也能使用由单一的氧化铝层构成的缓冲层17。在用2个氧化铝层构成缓冲层17的情况下构成为层16侧的氧化铝层的氧含有率大于等于30at %小于等于60at %，铝层18侧的氧化铝层的氧含有率大于等于5at % 小于等于30at%，并且2个氧化铝层的氧含有率满足上述关系。在用3个氧化铝层构成缓冲层17的情况下构成为层16侧的氧化铝层的氧含有率大于等于35at%小于等于60at%，中间的氧化铝层的氧含有率大于等于20at%小于等于35at%，铝层18侧的氧化铝层的氧含有率大于等于5at%小于等于20at%，并且3 个氧化铝层的氧含有率满足上述关系。当然，也可以用4个以上的氧化铝层构成缓冲层17。缓冲层17例如能使用下面的(1)-(3)这3个方法形成。(1)使用Ar气体和&气体的混合气体和含有氧元素的Al靶，利用反应性溅射法成膜。此时，优选靶中的氧含有率处于大于等于小于等于40at%的范围内。当靶中的氧含有率小于lat%时，靶中含有氧的效果消失，当超过40at%时，不必使用O2气体。(2)使用纯Ar气体和含有氧元素的Al靶作为溅射气体，利用反应性溅射法成膜。 此时，优选靶中的氧含有率处于大于等于5at%小于等于60at%的范围内。当靶中的氧含有率小时，有时不能使成膜的氧化铝层中含有足够量的氧，当超过60at%时，有时成膜的氧化铝层所含的氧元素的含有率变得过高。当无机基底层侧的氧化铝层所含有的氧元素的含有率超过60at%时，有时无机基底层(SiO2)和氧化铝层的粘接性降低。

　　(3)使用纯铝靶，利用反应性溅射法成膜。此时，使溅射所使用的混合气体的Ar气体和O2气体的流量比为大于2 0小于等于2 1的程度。当Ar气体和O2气体的流量比超过2 1时，有时成膜的氧化铝层所含的氧元素的含有率变得过高。对于实施例2的模具基材10b，使用上述(3)的方法形成了具有2个氧化铝层的缓冲层17。各氧化铝层的氧含有率为和48at%，满足了上述关系。氧含有率利用X射线光电子能谱法(ESCA)求得。实施例2的模具基材IOb的无机基底层16、缓冲层17以及铝层18的热膨胀系数 (从室温到100°C附近之间)如下。无机基底层16 SiO2 1. OXlO^3/°c,

　　招层18 Al 23Χ1(Γ6,/°c。在此，因为实施例2的模具基材IOb具有的缓冲层17的氧含有率(难以正确求得但)比Al2O3低，所以热膨胀系数比Al2O3的热膨胀系数(6.9X10_6/°C)大，比Al的热膨胀系数(23X10_6/°C )小。因此，通过形成缓冲层17而改善了相对于铝层18的粘接性。此外，当为了使由S^2形成的无机基底层16的热膨胀系数与其它层的热膨胀系数匹配，提高热膨胀系数时，例如，只要在SiO2中掺杂5质量％ 10质量％程度的Ge即可。如图8所示，在上述的实施例2的模具基材IOb的制作方法中不形成固化性树脂层，而是在高分子膜32的表面与实施例2的模具基材IOb同样地形成无机基底层(SW2 层)36，在形成缓冲层37后，在缓冲层37的表面形成铝层38，由此制作了比较例2的模具基材30B。所得到的模具基材中的高分子膜和铝层的粘接性利用所谓的剥离实验(横切实验)按照如下进行评价。对各模具基材的形成于高分子膜上的层，使用切割刀形成5X5个1格为IcmXlcm 的正方形格子。此外，断开处到达高分子膜的表面。在带有断开处的区域的铝层上使粘贴带(住友 7 J 一工么社(Sumitomo 3M Limited)制的苏格兰带(scotch-tape) BH-24)贴紧后，剥下粘贴带，用与粘贴带一起剥下的网格(grid)(铝层18、38、固化性树脂层14、无机基底层16、36和/或缓冲层17、37)的数量进行评价。评价结果如表1所示。〇表示剥离网格数大于等于1小于5，X表示剥离网格数大于等于10。剥离实验针对“初期”和“蚀刻” 进行，“初期”在刚制作了上述模具基材之后，“蚀刻”以磷酸(lmol/L)在30°C蚀刻30分钟之后。[表1]

　　实施例2比较例2初期〇X蚀刻〇X 从表1的结果可明确比较例2的模具基材30B在任一阶段粘接性均为X。相对于此，当使用实施例2的模具基材IOb时，改善了高分子膜12和铝层18的粘接性，在任一阶段均为〇。比较例2的模具基材30B尤其在浸渍到蚀刻液后，剥离网格数多。可以认为在浸渍到蚀刻液时，无机基底层36(Si02)由于侵入到高分子膜32与无机基底层36之间的蚀刻液(磷酸)而受到化学性损伤。在图9 (a)和(b)中示出实施例2的模具基材IOb的铝层表面的SEM像，在图10 (a) 和(b)中示出比较例2的模具基材30B的铝层表面的SEM像。图9(a)和图10(a)分别是铝层的刚成膜之后的SEM像，图9(b)和图10(b)分别是浸渍到磷酸水溶液后的SEM像。在图10(b)中看到的黑色小点为坑(凹痕)。从图10(a)中难以看清楚，但可以认为在刚成膜后的铝层中存在小的坑。可以认为由于比较例2的模具基材30B浸渍到磷酸水溶液中，因此坑被扩大。可以认为比较例2的模具基材30B在铝层中存在坑，由此，磷酸水溶液从坑侵入，粘接性下降。另一方面，观察图9(a)和(b)可明确在实施例2的模具基材IOb的铝层中看不到坑(凹痕)。可以认为实施例2的模具基材IOb与比较例2的模具基材30B不同，能抑制处理液从坑侵入，所以粘接性良好。此外，在上述的实施例2的模具基材IOb的制作方法中，将固化性树脂层形成于高分子膜12的两面，由此制作模具基材，调查粘接性。这是为了通过将固化性树脂层形成于高分子膜12的两面来调查来自背面的外部气体的影响而进行的。在该情况下也是，在上述的剥离实验中，在任一阶段均成为“〇”。实施例2的模具基材IOb因为设有无机基底层16和缓冲层17，所以具有比先前示出的实施例1的模具基材10优良的粘接性。(实施例3)在实施例1和2中，使用了用于制作清白型的蛾眼用模具的模具基材，相对于此， 在实施例3中，使用具有形成了凹凸结构的表面的模具基材，该凹凸结构发挥防眩功能。实施例3的模具基材具有图5(b)所示的模具基材IOc的构成，万博max体育注册具有高分子膜12、 形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14c、形成于固化性树脂层Hc上的无机基底层 16、形成于无机基底层16上的缓冲层17、以及形成于缓冲层17的表面的铝层18。按照如下方式制作实施例3的模具基材。万博max体育注册使用PET膜(ΚΙΜ0Τ0制，厚度为188 μ m) 作为高分子膜12，准备在高分子膜12上设有固化性树脂层14c的膜状基材，该固化性树脂层14c的表面具有发挥防眩功能的凹凸结构。接下来，在固化性树脂层Hc上形成厚度为 70nm的SW2层作为无机基底层16。接着，在SW2层16的表面形成了厚度为150nm的氧化铝层作为缓冲层17。之后，在氧化铝层17的表面形成厚度为1 μ m的铝层18，由此制作了模具基材10c。此外，铝层18每当沉积厚度为200nm的铝层时就中断，用各自的厚度为200nm 的5层铝层形成。针对如下情况进行剥离实验在上述的“初期”和“蚀刻”的基础上，经由参照图 1(a) (e)说明的制造工序形成了反转的蛾眼结构。阳极氧化条件和蚀刻条件与实施例1 相同。实施例3的模具基材IOc在任一实验中评价结果均为“〇”，具有优良的粘接性。此外，对具有与实施例3的模具基材IOc同样的构成、取代PET膜而具有TAC膜的模具基材也进行了同样的实验，结果是能得到良好的粘接性。

　　作为在PET膜和TAC膜上形成了发挥防眩功能的凹凸结构的基材，能使用在偏光板的制作中所使用的基材，所以具有容易获得基材的优点。本发明的实施方式的柔性模具100(图2(b))具有作为高分子膜12的可挠性膜， 所以能变形为辊状。在辊状基材的外周面固定柔性模具100，由此能得到辊状蛾眼用模具。 参照图11，对使用柔性模具100制作辊状蛾眼用模具200(下面也称为“辊状模具200”。) 的方法进行说明。首先，如图11(a)所示，准备柔性模具100和辊状基材40。在图11(a)中，为简便起见，针对柔性模具100仅图示出高分子膜12和多孔氧化铝层20。辊状基材40例如用不锈钢形成。接着，如图11(b)所示，在辊状基材40的外周面固定柔性模具100。此时，例如可以在柔性模具100的背面预先形成粘接层，直接贴附于辊状基材40。作为上述粘接层，可以使用可反复贴多次的粘接效力弱的粘接层。另外，也可以使用双面胶带作为粘接层。或者， 也可以在辊状基材40侧预先形成粘接层来贴附柔性模具100。或者，也可以通过在辊状基材40侧设置静电吸附结构来固定柔性模具100。优选柔性模具100不在与辊状基材40之间形成有空气层的情况下进行贴附，另外，优选在没有皱褶、扭曲的情况下粘贴。在上述固定方法中，如果是设置粘接力弱的粘接层来固定的方法或在辊状基材40上设置静电吸附结构来固定的方法，则具有能容易再利用的优点。此外，因为柔性模具100被卷在辊状基材 40的外周面，所以在外周面上存在接头，但也可以除接头的部分以外不施加粘接剂等，仅在接头部分固定柔性模具100。这样，能得到图11(c)所示的辊状蛾眼用模具200。根据图11(a) (c)所示的方法，能够不经由多孔氧化铝层的凹凸结构的转印工序来制作辊状蛾眼用模具。也能使用辊状铝基材(铝管)重复进行阳极氧化和蚀刻来制作辊状蛾眼用模具， 但辊状蛾眼用模具200与使用铝管的模具相比有利。例如，当将多孔氧化铝膜的表面原样地用作模具时，有时多孔氧化铝膜会损耗，此时使用铝管的模具要更换整个模具，但辊状蛾眼用模具200只要更换柔性模具100即可。因此，具有能降低成本的优点。另外，辊状蛾眼用模具200能使用通用的膜作为柔性模具100的高分子膜12，能使用用于多用途的成膜装置来形成铝层，所以具有不需要专用装置的优点。另外，在辊状蛾眼用模具200中使用的柔性模具100能用成批处理进行阳极氧化和蚀刻来制作。而且，在辊的真圆度、真直度成为重要参数的情况下，与使用铝管制作相比，在不锈钢(例如，JIS规格 SUS)制的辊状基材上固定柔性模具进行制作具有能提高精度的优点。接着，参照图12对柔性模具100和使用柔性模具100的辊状蛾眼用模具200的制造方法的具体例进行说明。首先，如图12(a)所示，准备具有高分子膜12和形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层14的膜状基材。高分子膜12例如是厚度为188 μ m的PET膜。此外，针对膜状基材进行保护膜、支撑板的贴附、剥离，但下面为简便起见，包含膜状基材、保护膜、支撑板等在内，称作“基材”进行说明。接下来，如图12(b)所示，在固化性树脂层14的表面和高分子膜12的背面分别贴附正面保护膜64和背面保护膜62。通过贴附正面保护膜64，能在后面进行的形成铝层18 的工序之前保护固化性树脂层14的表面。通过贴附背面保护膜62，能提高基材的韧性。当基材的厚度小时，有时在处理时使基材形成折痕，但通过贴附背面保护膜62，能防止产生这样的折痕。另外，背面保护膜62能防止弄脏高分子膜12的背面。接下来，如图12(c)所示，剥离正面保护膜64，在固化性树脂层14上形成铝层18。 铝层18例如能利用上述的溅射法等形成。接下来，如图12(d)所示，将支撑板68贴附于背面保护膜62的背面侧。此时，例如能隔着粘接层66进行贴附。作为支撑板68，能使用例如用丙烯酸系树脂形成的厚度为 3mm的基板。通过贴附支撑板68，能抑制在后面进行的形成多孔氧化铝层20的工序中基材在处理液(阳极氧化工序中的电解液和/或蚀刻工序中的蚀刻液)内弯曲到所需以上。因此，能抑制阳极氧化和/或蚀刻的不均的产生。接下来，用参照图1(a) (e)说明的方法重复阳极氧化和蚀刻，形成多孔氧化铝层20。接着，使基材干燥。这样，得到了柔性模具100(图12(e))。接着，剥离粘接层66和支撑板68，将附着于背面保护膜62的背面的处理液擦掉。 当附着的处理液附着于多孔氧化铝层20时，有时形成的蛾眼结构被侵蚀。在擦掉处理液后，再次隔着粘接层66贴附支撑板68。接下来，对多孔氧化铝层20的表面施加脱模剂。脱模剂能利用例如浸渍法进行涂敷。接着，如图12(f)所示，在多孔氧化铝层20上贴附第2正面保护膜65。此外，能使用与上述正面保护膜64相同构成的膜作为第2正面保护膜65。第2正面保护膜65是为了防止损伤到多孔氧化铝层20而贴附的。另外，此时剥离粘接层66和支撑板68。接着，如图12(g)所示，准备辊状基材40，在辊状基材40的外周面固定基材(具有柔性模具100和第2正面保护膜65。)。此外，辊状基材40为圆柱形基材，具有与在参照图11说明的辊状模具的制造方法中所使用的辊状基材40同样的构成，在图12(g)中仅示意性地示出其一部分。这样，得到了辊状蛾眼用模具200。此外，在即将固定到辊状基材 40上之前，从基材上剥离背面保护膜62。柔性模具能利用在上述参照图11说明的方法进行固定。使用以上述方法得到的辊状模具在被加工物上形成蛾眼结构时，如图12(h)所示，被加工物(例如，表面被施加了固化性树脂等的被转印膜)72配置于多孔氧化铝层20 上。当进行转印时，例如，可以一边剥离第2正面保护膜65 —边进行转印。作为使用辊状模具的蛾眼结构的形成方法的例子，参照图13说明在偏光板上形成防反射结构的方法的具体例。图13(a)和(b)是用于说明使用辊状模具200在偏光板70 上形成蛾眼结构的方法的示意性立体图。如图13(a)所示，准备辊状模具200和偏光板70。接下来，如图13(b)所示，在偏光板70上使辊状模具200接触。此时，例如在将固化性树脂施加到偏光板70的表面形成了被转印层后，使辊状模具200接触被转印层。之后，使偏光板70相对于辊状模具200相对移动，在偏光板70上形成蛾眼结构。 在图13(b)中用箭头示出移动方向。当使用辊状模具在被加工物上形成凹凸结构时，针对被加工物，有时在辊的周向 (在图13(a)中用箭头示出。)施加应力。另一方面，偏光板一般用单轴拉伸来制作。例如， 在将碘上色于PVA膜后，拉伸膜，由此使碘在拉伸方向排列来制作。拉伸膜的方向成为偏光板的偏光轴的方向。在此，当对偏光板在与偏光轴交叉的方向施加应力时，碘分子的排列混乱，所以偏振光的选择比下降。因此，当使用辊状模具200在偏光板70上形成蛾眼结构时， 优选偏光板70的偏光轴与辊状模具200的周向平行。如上所述，辊状模具200在外周面存在接头。当被加工物的长度(被加工物移动的方向上的长度)比辊状模具200的周长长时，接头被转印，所以被加工物的表面变得不连续。因此，优选辊状模具200的周长比被加工物的长度长。因此，当在偏光板上形成蛾眼结构时，优选辊状模具200的周长比移动的方向(在图13(b)中用箭头示出。)上的偏光板70的长度y长。在此，将半径设为r，能以2 Jir表示辊状模具200的周长。如上所述，优选偏光板的偏光轴的方向与辊状模具200的周向一致，所以优选在偏光板70为长方形、偏光板的偏光轴的方向为长边的方向时偏光板的长边的方向与辊状模具200的周向一致。另外，如上所述，优选辊状模具200的周长比移动的方向上的偏光板 70的长度长。因此，当偏光板的偏光轴的方向为偏光板的长边的方向时，优选偏光板70的长边(y)比辊状模具200的周长O π r)短。下面，示出上述的使偏光板的偏光轴与辊状模具的周向平行时的辊状模具的周长 (2 Jir)的具体例。在画面大小为569mmX325mm的沈英寸的显示装置所使用的偏光板上形成防反射结构时，只要以辊状模具的周长大于等于长边的方式使用例如半径为200mm(周长6观讓)的辊即可。此外，优选辊状模具的周长比长边+23mm(即592mm)长，如果使用半径为200mm的辊，则能使周长比长边+23mm长。同样，对于700mmX 400mm的32英寸的显示装置所使用的偏光板，只要以辊状模具的周长比长边+23mm(即723mm)长的方式使用例如半径为250mm的辊(周长785mm)的辊即可。对于其它尺寸的显示装置的偏光板，只要同样地设定即可。参照图5，示出了能在形成发挥防眩功能的凹凸结构的模具上重叠反转的蛾眼结构，根据本发明的实施方式，也能在形成有其它凹凸结构的模具上重叠反转的蛾眼结构。例如也能在形成有周期性的凹凸结构的模具上重叠反转的蛾眼结构。在用于形成例如柱状透镜、提高亮度膜(例如住友》J 一工么社(Sumitomo 3M Limited)制的BEF)、导光板、微透镜阵列、菲涅耳透镜等表面具有期望凹凸形状的光学元件的模具上，可以重叠反转的蛾眼结构。在图14中示意性地示出在用于形成柱状透镜的模具上重叠反转的蛾眼结构而形成的模具100d。模具IOOd具有高分子膜12、形成于高分子膜12的表面的固化性树脂层 14d、形成于固化性树脂层14d上的无机基底层16、形成于无机基底层16上的缓冲层17、形成于缓冲层17的表面的铝层18a、以及形成于铝层18a的表面的多孔氧化铝层20。如图14 所示，固化性树脂层14d的表面形成有柱状透镜表面的周期性的凹凸结构反转后的形状。 能使用模具IOOd制造表面具有蛾眼结构的柱状透镜。下面，参照图15说明模具IOOd的制造方法。首先，如图15(a)所示，准备具有与柱状透镜相同的凹凸结构的模具52。柱状透镜具有多个半圆锥体状(半圆柱状)的透镜平行排列而成的结构。在此，制作整体大小为 460mmX 365mm、间距(半圆锥体状透镜的宽度)为20 μ m、张角为90° (半圆锥体状透镜的曲面与垂直于半圆锥体状透镜延伸的方向的面交叉的曲线)的柱状透镜。接着，如图15 (b)所示，使用图15 (a)所示的模具52，在高分子膜12的表面形成固化性树脂层(例如紫外线的凹凸结构反转后的凹凸结构。能使用例如COP膜、PET膜等作为高分子膜12。接着，如图15(c)所示，在具有模具52的凹凸结构反转后的凹凸结构的固化性树脂层14d上，利用与上述方法同样的方法使无机基底层(例如SiO2层)16、缓冲层(例如氧化铝层)17、以及铝层18成膜，得到了模具基材10d。使用模具基材10d，利用参照图1 (a) (e)说明的制造工序重复阳极氧化和蚀刻，得到了模具100d(图14)。通过使用模具IOOd 能制造表面具有蛾眼结构的柱状透镜。另外，将模具IOOd固定于辊状基材上，由此得到了能制造表面具有蛾眼结构的柱状透镜的辊状模具。上述的光学元件具有周期性的凹凸结构，但当然不限定于此，如具有图5所示的发挥防眩功能的凹凸结构的模具那样，也能在形成不具有周期性的凹凸结构的模具上重叠反转的蛾眼结构。在参照图15说明的方法中，使用了在高分子膜12上形成了固化性树脂层14d后， 形成具有模具52的凹凸结构反转后的凹凸结构的固化性树脂层14d而制作的膜状基材 10d’(图15(b))，但如图16所示，也可以使用在预先形成周期性的凹凸结构的高分子膜12e 的表面形成固化性树脂层14而制作的膜状基材10e’。如上所述，在辊状模具200的外周面存在接头。在接头部分，优选柔性模具100以

　　在一端与另一端之间空出间隙的方式配置。当柔性模具100的一端与另一端在接头部分重叠时，如图17(a)所示，在接头部分，厚度成为2倍，在重叠部分的前后形成台阶。当使用在外周面具有台阶的模具进行转印时，台阶的部分不能良好地转印。例如，在对用固化性树脂形成的被转印膜进行转印的情况下，有时在台阶部分积存树脂而成为未固化的。未固化的树脂有时在例如将被转印膜卷绕成辊状重叠时附着于被转印膜，弄脏被转印膜。另外，有时空气进入到台阶部分而形成空气层。由于该空气层，有时柔性模具100从辊状基材40上剥落。另外，有时台阶被转印到被转印膜上。另一方面，如图17(b)所示，如果以在柔性模具100的一端与另一端之间空出间隙的方式配置，例如在该间隙中施加树脂等掩埋间隙(在图17(b)中用50示出施加到间隙的树脂。)，由此能减小台阶、或者消除台阶，所以不会产生上述问题。因此，优选柔性模具100 以在一端与另一端之间空出间隙的方式配置。作为形成有蛾眼结构的膜基材，能适当使用具有在端部被实施了滚花处理的高分子膜的膜基材。在此，所谓滚花处理是指在膜的端部设置凸部。滚花处理是为了防止在卷起时重叠的膜紧贴而实施的。在图18中示出具有被实施了滚花处理的高分子膜72f的膜基材70f的示意性截面图。如图18所示，膜基材70f具有高分子膜72f，其在两端设有多个半圆锥体状(半圆柱状)的凸部73;以及光固化性树脂层75，其形成于高分子膜72f上。光固化性树脂层75 例如由紫外线固化树脂形成，表面形成有蛾眼结构。在此，优选以从高分子膜72f的表面算起的蛾眼结构的高度(下面也称为“蛾眼结构的高度”。)小于等于从高分子膜72f的表面算起的凸部73的高度(下面也称为“凸部73的高度”。)的方式形成。这是因为若蛾眼结构的高度比凸部73高，则在将膜基材卷绕成辊状重叠时，由于与重叠于其上的膜基材的背面的摩擦，有可能损伤蛾眼结构，还因为有可能破坏蛾眼结构。一般利用滚花处理所形成的凸部73的高度为数十μπι IOOym程度。因此，优选例如以从高分子膜72f的表面算起的高度成为6 μ m 10 μ m程度的方式形成蛾眼结构。另外，当在上述辊状模具200的外周面的接头处具有台阶时，优选台阶的大小比凸部73的高度低。通过使辊状模具200的外周面的台阶的大小比凸部73的高度低，由此能使台阶部分被转印后形成于光固化性树脂层75上的台阶的大小比凸部73小。因此，当将膜基材70f卷绕成辊状重叠时，光固化性树脂层75不与重叠于其上的膜的背面接触，所以具有难以产生上述的蛾眼结构的损伤、破坏的优点。另外，优选在高分子膜72f的两端的凸部73之间施加树脂来形成光固化性树脂层 75。这是因为当凸部也被施加光固化性树脂层所使用的树脂时，抑制了实施滚花处理的效果。工业上的可利用件本发明的模具能广泛使用于具有蛾眼结构的表面的形成、例如防反射膜的形成。附图标记说明10:模具基材12:高分子膜14:固化性树脂层16:无机基底层17:缓冲层18、18a:铝层20:多孔氧化铝层22 细孔100、200 蛾眼用模具

　　1.一种柔性模具，具有 具有可挠性的高分子膜；固化性树脂层，其形成于上述高分子膜的表面；多孔氧化铝层，其形成于上述固化性树脂层上，在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线维大小大于等于IOnm小于500nm的多个凹部。

　　3.根据权利要求1或2所述的柔性模具，在上述固化性树脂层与上述多孔氧化铝层之间形成有无机基底层。

　　5.根据权利要求3或4所述的柔性模具，上述无机基底层的厚度大于等于50nm小于等于 300nm。

　　6.根据权利要求3 5中的任一项所述的柔性模具，在上述无机基底层与上述多孔氧化铝层之间形成有含有铝的缓冲层。

　　7.根据权利要求2 6中的任一项所述的柔性模具，上述固化性树脂层包含硅石。

　　8.根据权利要求7所述的柔性模具，上述固化性树脂层的表面具有2维大小大于等于 Ιμ 小于100 μ m的凸部。

　　9.根据权利要求1 6中的任一项所述的柔性模具，在上述固化性树脂层的表面形成有周期性的凹凸结构。

　　10.一种辊状模具，其具备权利要求1 9中的任一项所述的柔性模具和辊状基材， 上述柔性模具固定于上述辊状基材的外周面。

　　11.根据权利要求10所述的辊状模具，上述柔性模具以在一端与另一端之间空出间隙的方式配置。

　　12.一种防反射结构的形成方法，是在偏光板上形成防反射结构的方法，其包含如下工序准备权利要求10或11所述的辊状模具和偏光板；以及以上述偏光板的偏光轴与上述辊状模具的周向平行的方式使上述偏光板相对于辊状模具相对移动，在上述偏光板上形成上述蛾眼结构。

　　13.根据权利要求12所述的防反射结构的形成方法， 上述偏光板为长方形，上述辊状模具的周长比上述偏光板的长边长。

　　14.一种柔性模具的制造方法，上述柔性模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线维大小大于等于IOnm小于500nm的多个凹部， 上述柔性模具的制造方法包含如下工序(a)准备模具基材，上述模具基材具有具有可挠性的高分子膜；固化性树脂层，其形成于上述高分子膜的表面；以及铝层，其形成于上述固化性树脂层上；(b)对上述铝层局部地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；(c)在上述工序(b)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大；以及(d)在上述工序(c)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细凹部成长。

　　15.根据权利要求14所述的柔性模具的制造方法，在上述工序(d)之后，进一步进行上述工序(c)和(d)。

　　本发明的模具(100)具有具有可挠性的高分子膜(12)；固化性树脂层(14)，其形成于高分子膜(12)的表面；以及多孔氧化铝层(20)，其形成于固化性树脂层(14)上，在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部。根据本发明，提供了简单地制造能变形为辊状的柔性蛾眼用模具的方法。